关于半导体材料检测，你了解多少？

半导体材料是一类具有半导体性能（导电能力介于导体与绝缘体之间，电阻率约在1mΩ·cm～1GΩ·cm范围内）、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料。

半导体材料检测

半导体材料、元素半导体、无机化合物半导体、有机化合物半导体、非晶态与液态半导体、单晶半导体、宽带隙半导体、低维半导体等。

化学成分、杂质含量、电阻率测定、载流子迁移率、频率响应、电动势率、热导率等。

半导体材料检测标准

GB/T 1550-2018非本征半导体材料导电类型测试方法

GB/T 1555-2009半导体单晶晶向测定方法

GB/T 2900.32-1994电工术语 电力半导体器件

GB/T 14844-2018半导体材料牌号表示方法

SJ 20744-1999半导体材料杂质含量红外吸收光谱分析通用导则

YS/T 1216-2018硒化镉

YS/T 1224-2018超高纯锌

YS/T 1413-2021超高纯铟

YS/T 918-2013超高纯汞

以上文章由半导体材料检测机构 https://www.boende.com.cn/ 负责整理，转载请注明出处

第三代半导体材料需要什么样的测试？

近年来，随着工业、汽车等市场需求的增加，以GaN、SiC为代表的第三代半导体材料的重要性与优越性逐渐凸显了出来。同时，随着第三代半导体材料产业化技术日趋成熟，生产成本不断降低，使得第三代半导体材料突破传统硅基半导体材料的瓶颈，从而引领了新一轮产业革命。

根据Yole于2018年发布的 《功率碳化硅（SiC）材料、器件和应用-2018版》报告预测显示，到2023年SiC功率市场总值将超过14亿美元，2017年至2023年的复合年增长率（CAGR）将达到29%。2019-2020年，5G网络的实施将接棒，推动GaN市场增长。未来10年，GaN市场将有望超过30亿美元。

由此可见，未来采用第三代半导体材料器件的产品和企业将会越来越多。但在半导体器件向小型化和集成化方向发展的同时，半导体器件特性测试对测试系统也提出了越来越高的要求。举个例子，这些器件的接触电极尺寸只有微米量级，而这就是测试仪器所要面临的挑战之一。

因此，小型化器件需要测试设备在低噪声源表、探针台和显微镜等方面提升性能，使之具备更高的低电流测试能力，能够支持测量各种功率范围的器件。

除此之外，为了缩短测试所用的时间，这种仪器还必须能够监视这台设备所消耗的电压和电流，并以此来判断设备的性能或测试设备是否正常工作。而与其他器件相比，测试第三代半导体材料器件的性能，则需要精度更高、灵敏度更高的测试仪器。

数字源表源测量单元（SMU）就被视为是可支持第三代半导体材料器件的测试仪器。这种仪器在同一引脚或连接器上结合了源功能和测量功能，它将电源或函数发生器，数字万用表（DMM）或示波器，电流源和电子负载的功能集成到一个紧密同步的仪器中。可以在输出电压或电流的同时，测量电压和/或电流。

一般说来，SMU测量能力超过类似单台仪器的任意组合。SMU可以进行高精度，高分辨率和高灵活性的测试分析。被广泛应用在 IV 检定、测试半导体及非线性设备和材料等方面的测试方面。这对于吞吐量和准确度尤其如此。源和测量电路的详尽设计知识和工作电路之间的反馈实现补偿技术能实现优秀的仪器特性，包括能针对具体工作条件进行动态调整的近乎完美输入和输出阻抗。这种紧密集成以极高分辨率实现快速源-测量周期。这些优点在半成品晶圆以及成品上进行的半导体测量中最突出。

而在众多SMU测仪表中，又尤属吉时利的表现最突出。据悉，吉时利SMU仪器已经帮助南京大学的研究人员进行了薄膜晶体管和半导体材料测试。同时其2450源表也进入到了中山大学半导体材料与器件特性表征实验室，帮助师生完成了新材料的相关测试。

据了解，吉时利SMU仪器还可用于便携式无线设备等电子成品的生产测试；HBLED和太阳能电池等电子器件的QA/FA；适于纳米技术应用的石墨烯等高级材料的研究。

相关问答

半导体测封技术高吗?

芯片封测是利用薄膜技术细微加工技术等,将芯片在基板上布局、固定及连接,并用可塑性绝缘介质灌封形成电子产品的过程,目的是保护芯片免受损伤,保证芯片的散热...

半导体绝缘测试原理?

一,测试原理:当四根金属探针排成一条直线,并以一定压力压在半导体材料上时,在。1,4两根探针间通过电流I,则。2,探针间产生电位差V.根据公式...

半导体测试基础知识?

半导体测试是半导体生产过程中非常重要的环节,用于检测半导体芯片的性能和可靠性,以确保芯片的品质和质量。以下是半导体测试的基础知识:1.测试的目的:半导...

半导体XRD测试的分析方法?大家可以说一下吗?

[回答]半导体XRD测试典型应用可以分为如图1所示的六大类:(1)晶体结构的确定和修正;(2)点阵常数的测定;(3)物相定量分析;(4)获得键长键角信息;(5)应力应变...

半导体硅片怎么检测?

半导体硅片检测方法:1.硅片尺寸测量:测量硅片长、宽、厚度等尺寸,确保参数符合规格要求。2.晶圆字符识别:检测识别晶圆产品上字符是否有错印、漏印、缺失...

求助关于半导体光催化剂阻抗测试和光电流测试的问题-盖德问...

我加你的qq吧,请教你一个问题,谢谢你的多少,我加你的我们学校没有这个测试仪器,你能不能帮我测一个呢?谢谢...我现在还没有学会测试这个,每次测...

半导体测序原理及步骤?

自然情况下,DNA聚合酶将一个核苷酸渗入到DNA分子中就会释放出一个H+,导致局部可检验的PH值发生变化。如果发生结合,就会释放H+,相应的溶液PH值会发生改变,被...

楼主请问:半导体XRD测试原理是什么?

[回答]“半导体XRD测试的分析方法和步骤:1、在衍射仪获得的XRD图谱上,如果样品是较好的“晶态“物质,图谱的特征是有若干或许多个一般是彼此独立的很窄的...

半导体专业有哪些?

1、微电子专业。本专业是由芯片设计关系最密切的专业,毕业以后主要到集成电路制造厂家、集成电路设计中心以及通信和计算机等信息科学技术领域从事开发和研究...

求助:如何用电化学工作站测量半导体材料的光(暗)电流-时间曲...

我们实验室跟你所说的仪器差不多!我们实验室所用的仪器室chi660d。测试电流正如前面几位所说!最好是把你研究的材料涂覆在导电层上(例如ito玻璃)作...