小白也能看懂 半导体制程工艺生产的秘密

　　昨天三星宣布全新的 10nm LPP 工艺已经投产了，而 LPP 工艺相比骁龙835使用的 LPE 工艺，性能提升了10%，功耗下降了15%。但作为一个辣鸡小编，其实我是看不太懂的，都是10nm制程，怎么还能提升性能呢？这些 LPP、LPE 都是指的什么，还有之前看到的 FinFET 这些词又都指的什么？相信和小编有同样疑问的读者不在少数，索性今天我们就来刨根问底一番，看看现在火热的半导体究竟有哪些秘密。

　　制程的秘密：多少nm很重要吗?

　　摩尔定律大家肯定都知道：每过18个月，单位面积上的晶体管数量增加一倍嘛！然而多年来半导体制程从65nm到32nm，再到28nm，还有近两年的14nm、16nm和10nm，感觉也没什么规律啊！这里我们就需要认识一下尺寸的计算方式，以及“半代升级”和“整代升级”的概念了。

　　首先，单位面积内晶体管数量翻倍并不意味着制程就要缩小一半，缩小一半的话单位面积晶体管数量不就翻4倍吗？所以如果要保证两倍的成长，那么整代升级应该乘以0.7。所以从14nm 到10nm，以及后面从10nm 到7nm，都是遵循了摩尔定律的整代升级。

　　但是在几年以前，我们却经历过一段“半代升级”的风潮，打破了0.7的规律。在 40nm 前后几年，正好是存储器需求飞速发展的时间段，考虑到0.9倍的制程升级就能将闪存容量提升1.24倍，且0.9倍的升级技术简单，半年就能完成，所以不少代工厂开始“半代升级”制程来帮助 NAND 闪存厂商抢占市场。

　　正常来说制程升级应该是45nm—32nm—22nm—14nm—10nm，也就是经典的Tick Tock。但是台积电当年在 45nm 之后却推出40nm，这也迫使英特尔和三星等厂商打破了规律，在2010年前后启用了 NAND 专属的 35nm 制程（有趣的是华为海思四核也用了35nm 制程）。而鸡贼的台积电后来又跳到 28nm，抢占制程高地，这显然让英特尔和三星很不开心，所以后期三星和英特尔都回到了正常的升级策略，并且从那以后，英特尔就一直对半代升级嗤之以鼻（恼羞成怒）。

　　而台积电在坚持了 20nm 和 16nm 两代之后，也主动回到了 10nm 的正轨。原因非常简单，因为 NAND 颗粒并不是制程越小性能越好，20nm 之后就会发生严重的电子干扰，所以在 20nm 制程后，各大厂商都转向了3D NAND 技术（如果大家对闪存有兴趣我们今后也可以科普），再往后大家也不在 NAND 的制程上较劲了。

　　工艺的秘密：这些字母其实很好懂

　　至于后缀的那些英文其实也不难理解，比如 FinFET 工艺（注意哦，多少纳米叫制程，而后缀指的是工艺），这一工艺最早由英特尔在22nm 制程时提出，而现在英特尔、台积电和三星都用的 FinFET 。

　　因为制程中 22nm 是指每个晶体管中两个栅极之间的距离，所以 22nm 并不是指晶体管尺寸，一般一个 22nm 制程的晶体管尺寸高达 90nm ，而栅极间距越小电子流动的时间就越短，所以性能就提升了。但是随着栅极距离越来越小，绝缘效果就会下降导致漏电，所以每经过几代制程升级，就需要有一次工艺升级来解决这个问题。FinFET 之前已经有过High-K、HKMG 等工艺了，而 FinFET 之后，我们还会见证 FD-SOI 、GAA的竞争。

　　至于 FinFET 的原理，它的全称是“鳍式场效晶体管”，简单说来就是讲栅极之间的绝缘层加高，来增强绝缘效果减少漏电现象，是不是觉得挺傻瓜的？但往往是看起来很简单的想法，实现起来却无比困难。

　　说完了 FinFET，我们还有最后一个后缀，就是昨天报道中的 LPP、LPE 了，其实这些指的都是同一代工艺中的不同种类，比如 LPE（Low Power Early） 指早期低功耗工艺，而 LPP(Low Power Plus)指成熟的低功耗工艺，而适用于移动设备的 LP 系列其实还包含 LPC、LPU 。而且这些后缀并不是10nm 专属，三星 FinFET 工艺都是这样的命名方式，比如14nm FinFET 中，骁龙820是 LPP，而骁龙821则是 LPU。

　　并且除了 LP 系列之外，当然还有主打高性能的 HP(High Performance)系列， 这其中又分为很多种，这里就不展开讲了。但是这也只是三星芯片的划分方法，像台积电虽然也是 FinFET 工艺，但是却分为了FinFET Plus、FinFET Compact 等几种。

　　生产的秘密：光刻机被卡脖子啦！

　　说完了技术，我们最后不如落到生产上聊一聊？毕竟随着工艺的提升，对于生产设备的要求也越来越高了，过去各家在蚀刻晶圆的过程中用的都是深紫外光微影系统，简称 DUV，而随着制程超过10nm，现在 DUV 已经满足不了精度要求，这时极紫外光微影系统（EUV）就上线了。

　　说到 EUV 是不是觉得很眼熟？没错，不久前三星刚刚以1.5亿欧元每台的价格从 ASML 订购了10台 EUV ，然而 ASML 这么久也一共才生产了23台，很显然，三星是想在 8nm/7nm 时代抢占先机。这已经不是他们第一次这么做了，当初在 OLED 的发展初期，他们就买走了市面上仅有7台蒸镀机中的5台（蒸镀是OLED 生产中的重要步骤），借此延缓了 LG 和京东方的 OLED 生产计划。

　　总而言之，现在半导体行业在进入10nm 时代之后，无疑将会面临制程、工艺以及生产的三重挑战，未来三星、台积电和 Intel 是会继续三足鼎立，还是会有人旧人掉队、新人加入呢？我们拭目以待！

半导体刻蚀工艺详解

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作者 | 北湾南巷

出品 | 芯片技术与工艺

半导体技术作为现代电子设备和信息技术的基础，已经成为当今社会中不可或缺的一部分。从智能手机到计算机、通信设备，再到医疗设备和太阳能电池，几乎所有现代技术都依赖于半导体器件的制造和应用。半导体器件的性能和功能的提升，直接影响着电子产品的性能、功耗、成本以及体积大小，因此半导体工艺的发展至关重要。

随着电子设备对功能集成度和性能要求的不断增加，半导体工艺技术也在不断演进和精进。刻蚀工艺作为半导体工艺中的核心环节，直接决定了器件的结构和特性，刻蚀工艺用于精确地去除或调整半导体表面的材料，以形成所需的结构和电路图案。

#01

刻蚀工艺的发展历程

如图展示了半导体产品的发展与刻蚀和沉积技术的关系，揭示了技术进步的重要节点和趋势。半导体产品从早期的 4-bit DRAM 发展到更复杂的 MLC 3D NAND，显示了技术复杂度和性能的显著提高。

1990年代引入的层叠技术和2010年的单元叠层技术是关键节点，分别用于提高存储器件的密度和性能。刻蚀技术的发展使得精确去除或调整材料层成为可能，形成了精细的电路结构；沉积技术则通过化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）等方法，在晶圆表面形成各种功能层，推动了半导体产品的复杂化和高性能化。技术的进步轨迹显示，层叠技术与刻蚀和沉积工艺的发展密切相关，这些工艺技术的发展，使得制造更加精细和复杂的半导体器件成为可能。总之，半导体产品的复杂度和性能的提高离不开刻蚀和沉积技术的不断发展和创新，这些工艺技术的发展，使得从早期的4-bit DRAM到现代的MLC 3D NAND等复杂器件的制造成为可能，推动了半导体工业的整体进步。

本文章旨在全面介绍和深入探讨半导体刻蚀工艺，包括其基本原理、工艺步骤、设备与材料、应用领域、技术挑战及其解决方案，及其最新技术发展和未来趋势。

通过详细的讲解和分析，读者将能够系统地了解刻蚀工艺在半导体制造中的关键作用，以及掌握刻蚀工艺的核心技术和控制方法，为进一步研究或实际应用提供有价值的参考。

#02

刻蚀工艺在半导体制造过程中的地位

半导体材料，如硅和砷化镓，在现代电子设备中扮演着不可或缺的角色。它们作为计算机芯片、智能手机、平板电脑、存储器、传感器和光伏电池等设备的核心，发挥着关键作用。半导体具有独特的特性，如导电性可通过掺杂控制，使其成为制造各种电子元件的理想材料。

在现代电子设备中，半导体的关键作用体现在几个方面：

计算和数据处理： 半导体芯片如中央处理器（CPU）、图形处理器（GPU）和其他专用处理单元（如神经网络处理器，NPU）是计算机和服务器中处理数据的核心。 存储和数据保留： 半导体存储器如 DRAM 和 NAND 闪存被广泛应用于计算机、智能手机、相机等设备中，用于数据的存储和保留。 通信和联网： 半导体元件是现代通信设备的基础，支持无线电通信（如Wi-Fi和5G）和有线通信（如光纤网络）的功能实现。 感知和检测： 半导体传感器用于检测光（如光电二极管）、温度（如热电偶）、压力和位置等物理量，广泛应用于物联网（IoT）设备、汽车电子和工业控制系统中。 能量转换和管理： 半导体器件如太阳能电池和功率管理芯片在能量转换和管理系统中起着关键作用，帮助实现可再生能源的高效利用和能耗优化。

综上所述，半导体在现代电子设备中的多样化应用和关键角色体现了其在科技进步和社会发展中的不可替代性。随着技术的不断进步和应用领域的扩展，半导体材料及其相关技术将继续推动着电子行业的创新和发展。

刻蚀工艺是半导体制造中一个关键且不可或缺的步骤，其重要性体现在以下几个方面：

1. 微观结构的精确形成：

刻蚀工艺通过去除特定区域的材料，形成微观结构和电路图形，这些结构决定了半导体器件的性能和功能。刻蚀工艺能够实现纳米级别的精度，这是制造高密度、高性能集成电路（IC）的基础。 例如，现代微处理器的晶体管尺寸已经缩小到纳米级别，这需要刻蚀工艺能够精确地去除材料，形成极其微小的结构。

2. 多层工艺中的关键步骤：

在现代半导体制造过程中，一个芯片通常需要经历数十甚至上百个工艺步骤。刻蚀工艺在这些步骤中反复出现，每一层的图形转移和结构形成都依赖于刻蚀工艺。 多层结构中的每一层都需要经过光刻和刻蚀，确保不同层之间的精确对准和材料去除，以实现复杂的三维结构和功能。

3. 材料选择性：

刻蚀工艺具有高选择性，能够根据需要精确去除特定材料而不影响其他材料。这对于制造多层结构和复杂器件至关重要。例如，在制造金属互连线时，需要刻蚀掉金属层中的多余部分而不损伤下层的绝缘材料。 高选择性的刻蚀工艺确保了各层之间的电气隔离和物理完整性，提高了器件的性能和可靠性。

4. 工艺的可控性和重复性：

高精度的刻蚀工艺能够确保制造过程的可控性和重复性，使得大规模生产具有一致性和高良品率。这对于半导体工业的经济效益和市场竞争力至关重要。 例如，在大规模生产DRAM芯片时，刻蚀工艺的精确控制能够确保每一片晶圆上的数百万个存储单元都具有一致的性能和质量。

5. 新材料和新技术的推动：

随着半导体技术的不断发展，新材料（如高 k 介质和低 k 介质）和新技术（如 FinFET 和 3D NAND）的引入，对刻蚀工艺提出了更高的要求。刻蚀工艺需要不断创新和改进，以适应新的制造需求和技术挑战。 例如，FinFET 技术的引入提高了晶体管的开关速度和能效，但也对刻蚀工艺提出了新的挑战，需要更高的刻蚀精度和选择性。

综上所述，刻蚀工艺在半导体制造过程中占据着至关重要的地位，是实现高性能、复杂结构和新技术的核心工艺之一。通过不断优化和创新刻蚀工艺，半导体制造商能够持续推动技术进步，满足市场对更高性能、更低功耗和更小尺寸电子器件的需求。

#03

刻蚀工艺定义和基本原理

以下是一幅描述刻蚀过程的简化图，涵盖了“物理刻蚀”（Physical Etching）和“化学刻蚀”（Chemical Etching），并提及了“中性”（Neutral）、“离子”（Ion）、“自由基”（Radical）“挥发性产物”（Volatile Product）等术语。

以下是对这些术语及其在刻蚀工艺中的作用的详细解释：

1. 物理刻蚀（Physical Etching）： 物理刻蚀指的是通过物理作用去除材料的过程，不涉及化学反应。

溅射（Sputtering）： 这是一种常见的物理刻蚀方法，其中高能离子撞击材料表面，将原子或分子从表面撞出，从而实现刻蚀。这种方法广泛用于精细图案的制造，尤其是当需要各向异性刻蚀时。

2. 化学刻蚀（Chemical Etching）： 化学刻蚀通过化学反应去除材料，形成易于移除的产物。

方法：

干法刻蚀（Dry Etching）： 在干法刻蚀中，使用等离子体产生的活性离子和自由基与材料发生反应，生成挥发性产物，常用于精确的图案转移。 湿法刻蚀（Wet Etching）： 使用液态化学试剂与材料发生反应，形成可溶解的产物，然后通过溶液移除，这种方法适用于大面积材料的均匀去除。

中性（Neutral）： 指的是不带电的粒子或分子，它们在刻蚀过程中不参与电荷交换或离子化过程，但可能在化学反应中起作用。

自由基（Radical）： 指具有未配对电子的原子或分子，通常非常活泼，容易参与化学反应。在干法刻蚀过程中，自由基是等离子体产生的活性物质之一，它们能够与材料表面发生反应，生成挥发性产物，从而实现刻蚀。例如，在反应性离子刻蚀（RIE）中，自由基与材料反应生成气态产物，从而被移除。

离子（Ion）： 带有电荷的原子或分子。在刻蚀过程中，离子可以通过物理轰击材料表面来实现物理刻蚀，也可以作为反应物在干法刻蚀中与材料发生反应。

挥发性产物（Volatile Product）： 挥发性产物是指在化学反应中生成的、能够在常温或低温下从固体或液体状态转变为气态并被移除的化合物。在化学刻蚀过程中，刻蚀剂与材料表面发生化学反应，生成挥发性产物。例如，在反应离子刻蚀（RIE）过程中，等离子体中的活性自由基与材料表面反应生成气态化合物。这些气态化合物通过真空泵或其他排气系统从刻蚀腔室中移除，防止它们在表面重新沉积，确保刻蚀过程的连续性和均匀性。

综上所述，物理刻蚀和化学刻蚀各有其适用场景和优势，通过合理选择和组合这些刻蚀方法，可以实现对半导体器件精确、有效的制造。这张图描述了刻蚀过程中涉及的不同机制，包括物理和化学过程，以及它们产生的不同结果。物理刻蚀通过高能离子轰击材料表面实现去除，化学刻蚀则通过自由基等活性物质与材料反应生成挥发性产物来实现材料的去除。两种刻蚀方法各有优势，物理刻蚀适用于需要高精度和各向异性刻蚀的场合，而化学刻蚀在大面积材料去除和各向同性刻蚀方面表现出色。理解这些术语及其在刻蚀工艺中的作用，对于优化半导体制造过程至关重要。

刻蚀 是一种重要的半导体制造工艺，其基本原理是通过化学或物理手段，将晶圆表面上的特定材料层部分性地去除，从而形成所需的器件结构或图案。刻蚀技术广泛应用于半导体工业中，包括集成电路制造、传感器制造、MEMS（微电子机械系统）制造等领域。

3.1、刻蚀的概念和作用

刻蚀的主要目的是在半导体器件的制造过程中，根据设计要求精确地去除或调整材料层，以形成电路的结构或图案。其作用包括但不限于以下几个方面：

定义精确的电路图案： 在光刻和显影步骤后，刻蚀步骤可以将设计好的图案转移到晶圆表面，用于制造导线、晶体管和其他电子元件的结构。刻蚀精度直接影响到电路的线宽和间距，这对器件性能至关重要。 去除不需要的材料： 在多层结构中，刻蚀可以选择性地去除某些层，以形成多层结构的特定部分，如金属互连、绝缘层或衬底。这种选择性去除能力使得复杂的多层结构成为可能。 控制器件性能： 刻蚀过程的精确性和可控性直接影响到器件的尺寸、形状和性能，例如电阻、电容和电特性。通过控制刻蚀深度和形状，可以优化器件的电气性能和热性能。

3.2、刻蚀的目标和实现方法

刻蚀的目标是实现精确的器件结构和电路图案，以满足电子器件的功能需求。实现这些目标的方法可以根据刻蚀介质、刻蚀方式和器件要求的不同而有所差异。

物理刻蚀、化学刻蚀、干法刻蚀和湿法刻蚀是材料加工中用于微电子制造、金属加工等领域的不同技术。

以下是对这些刻蚀技术的详细区分和关联阐述：

1. 物理刻蚀（Physical Etching）

机制： 依赖物理作用，通常是高能粒子（如离子）撞击材料表面，通过溅射作用移除材料。 特点： 产生各向异性刻蚀，即刻蚀方向主要垂直于基底表面，形成陡峭的侧壁。 应用： 常用于半导体工艺中的薄膜去除、光罩制作等。

2. 化学刻蚀（Chemical Etching）

机制： 基于化学反应，使用化学溶液或气体与材料表面发生反应的过程，溶解特定成分。 特点： 可以是各向同性或各向异性。各向同性刻蚀在所有方向上均匀进行，而各向异性刻蚀则沿特定晶体方向进行。 应用： 广泛应用于金属加工、微电子制造中的图案转移。

半导体制造技术在过去几十年经历了显著的演变，这一进程在刻蚀工艺的转变中尤为明显。半导体技术节点的演进标志着制造工艺的精细度，其中最小特征尺寸（Critical Dimension, CD）是关键指标。在1970年代，这一尺寸从10微米（10μm）迅速减小至5微米（5μm），这一变化推动了刻蚀技术的转变。湿法刻蚀（Wet Etching）因其成本效益在早期被广泛使用，但随着对更高精度的需求，干法刻蚀（Dry Etching）技术应运而生，利用等离子体（Plasma）或气体化学反应实现更精细的刻蚀。

与此同时，集成电路的规模也经历了从大规模集成电路（Large-scale Integration, LSI）到超大规模集成电路（Very-large-scale Integration, VLSI）的扩大，这不仅提升了电子设备的复杂度和性能，也为多层堆叠技术（Multi-layer Stacking Technology）和三维集成技术（3D Integration Technology）的发展奠定了基础。尽管干法刻蚀已成为现代半导体制造的主流，湿法刻蚀在清洗过程（Cleaning Process）等特定应用中仍发挥着关键作用。整个技术演进不仅展示了半导体行业的进步，也为我们今天所享受的高科技生活提供了坚实的技术基础。

3. 干法刻蚀（Dry Etching）

机制： 使用气体和等离子体进行刻蚀，不涉及液态化学物质。 特点： 可以是物理或化学过程，通常是各向异性的，能够实现高精度和复杂图案的刻蚀。 应用： 常用于半导体制造中的深孔、槽和微结构的制作。

4. 湿法刻蚀（Wet Etching）

机制： 使用液态化学溶液与材料表面发生化学反应。 特点： 通常是各向同性的，但也可以通过对特定材料或晶体取向的选择性刻蚀来实现各向异性。 应用： 用于金属刻蚀艺术、某些半导体工艺的初步图案制作。

区分和关联

物理与化学： 物理刻蚀与化学刻蚀的主要区别在于去除材料的机制。物理刻蚀依靠动能转移，而化学刻蚀依靠化学反应。 干法与湿法： 干法刻蚀与湿法刻蚀的区别在于介质。干法刻蚀使用气体和等离子体，而湿法刻蚀使用液态化学溶液。 各向异性与各向同性： 各向异性刻蚀（如某些物理刻蚀和干法刻蚀）沿特定方向进行，而各向同性刻蚀（如某些化学刻蚀和湿法刻蚀）在所有方向上均匀进行。 选择性： 化学刻蚀的选择性通常较高，意味着不同的材料可以被同一化学溶液以不同的速率刻蚀，而物理刻蚀的选择性较低，因为它不依赖于材料的化学性质。 应用场景： 不同的刻蚀技术适用于不同的材料和工艺要求。例如，干法刻蚀在需要高深宽比和精细图案的半导体工艺中更为常用，而湿法刻蚀可能用于金属刻蚀艺术或某些宏观尺度的图案制作。

特性/类型

物理刻蚀

化学刻蚀

干法刻蚀

湿法刻蚀

基本机制

物理作用（如溅射）

化学反应（如溶解）

物理和/或化学作用（使用等离子体）

化学反应（使用化学溶液）

各向异性/同性

通常是各向异性

可以是各向同性或各向异性，取决于材料和化学剂

通常是各向异性

通常是各向同性

介质

高能粒子（如离子）

化学溶液（如酸、碱）

气体和等离子体

液态化学溶液

应用场景

半导体薄膜去除、光罩制作

金属加工、某些半导体图案转移

深孔、槽和微结构制作

金属刻蚀艺术、宏观图案制作

选择性

较低（对所有材料大致相同）

较高（对不同材料有不同的刻蚀速率）

取决于化学剂和物理条件

取决于化学剂

刻蚀速率

相对较低

可高可低，取决于化学剂

通常较高，可精细控制

相对较低

精度和复杂性

可实现高精度和陡峭侧壁

精度较低，可能产生侧向凹槽（undercut）

可实现高深宽比和复杂图案

精度较低，图案简单

表面损伤

可能产生表面损伤

通常较低，取决于化学剂

较低，但需控制离子轰击

可能较低，取决于化学剂

环境影响

较少化学废物

可能产生化学废物

较少化学废物，但需控制气体排放

可能产生较多化学废物

在选择刻蚀技术时，需要考虑材料特性、所需图案的尺寸和精度、生产成本和效率等因素。这些技术之间可以相互补充，以满足特定的工业和制造需求。

#04

干法刻蚀&湿法刻蚀

4.1、干法刻蚀工艺

干法刻蚀工艺 在半导体制造中占据重要地位，主要通过气相环境下的物理、化学或物理化学结合的机制来实现材料的去除。干法刻蚀相较于湿法刻蚀，更适合高精度和复杂结构的加工。

原理与机制：

干法刻蚀是在低压气相环境中通过等离子体或离子束等手段实现的刻蚀工艺。其主要机制包括物理刻蚀、化学刻蚀和物理化学结合刻蚀 。这些机制依赖于高能离子、自由基和其他活性种的作用，实现材料的精确去除和图形转移。

1. 等离子体形成：

过程： 干法刻蚀通常在等离子体反应器中进行，通过高频电源在低压气体中激发等离子体。等离子体包含高能电子、离子和中性分子，这些活性种在电场和磁场的作用下与材料表面发生反应。 作用： 等离子体中的高能粒子通过化学反应或物理溅射作用去除材料。

2. 刻蚀反应：

化学反应： 等离子体中的活性种与材料表面发生化学反应，生成挥发性副产物并被真空系统排除。 物理轰击： 高能离子通过动能轰击材料表面，直接移除材料。

4.1.1、物理刻蚀

物理刻蚀（Physical Etching）主要依赖于高能离子的物理轰击作用，通过溅射效应去除材料。

1. 原理：

动能轰击： 高能离子在电场的加速下撞击材料表面，传递动能，导致材料原子或分子从表面溅射出来。 溅射效应： 材料被高能离子轰击后发生溅射，溅射速率与离子能量、入射角度和材料特性有关。

2. 设备与工艺：

反应器类型： 物理刻蚀通常在反应离子刻蚀（RIE）和离子束刻蚀（IBE）设备中进行。 控制参数： 影响物理刻蚀的主要参数包括离子能量、离子流量、入射角度和刻蚀时间。

3. 应用实例：

金属膜去除： 物理刻蚀常用于去除金属膜，如铝、铜等，以形成精细的金属图形。 表面清洁： 物理刻蚀用于清洁材料表面，去除氧化层和污染物，确保后续工艺的质量。

4. 优势与局限性：

优势： 高各向异性，适合形成垂直侧壁结构；不依赖化学反应，可刻蚀惰性材料。 局限性： 选择性低，对材料损伤大；对高深宽比结构的刻蚀效率低。

4.1.2、化学刻蚀

化学刻蚀（Chemical Etching）主要依赖于化学反应，通过等离子体中的活性种与材料表面的反应去除材料。

1. 原理：

化学反应： 等离子体中的自由基、离子和中性分子与材料表面发生化学反应，生成挥发性副产物，随后被真空系统排除。 反应种类： 常用的反应气体包括氟化物（如CF4、SF6）、氯化物（如Cl2、BCl3）和氧化物（如O2）。

2. 设备与工艺：

反应器类型： 化学刻蚀常在等离子体刻蚀（PE）设备中进行，通过控制反应气体种类、流量和等离子体功率实现刻蚀。 控制参数： 影响化学刻蚀的主要参数包括反应气体种类与浓度、等离子体功率、刻蚀温度和时间。

3. 应用实例：

氧化物刻蚀： 化学刻蚀广泛用于硅氧化物（SiO2）和氮化硅（Si3N4）的去除，以形成介电图形和隔离结构。 有机材料刻蚀： 在制造OLED和光刻胶去除中，化学刻蚀用于选择性去除有机材料。

4. 优势与局限性：

优势： 高选择性，适用于多种材料；工艺温和，对基材损伤小。 局限性： 各向同性，难以形成垂直侧壁；对反应气体依赖性强。

4.1.3、物理化学结合刻蚀

物理化学结合刻蚀（Physical-Chemical Etching）结合了物理刻蚀和化学刻蚀的优势，通过化学反应和物理轰击的协同作用实现材料去除。

1. 原理：

协同作用： 反应气体在等离子体中被激发生成活性种，这些活性种与材料表面发生化学反应，同时高能离子轰击材料表面，增强刻蚀速率和各向异性。 增强效应： 物理轰击使材料表面变得更加活跃，增加化学反应的速率；化学反应生成的副产物更易被物理轰击去除。

2. 设备与工艺：

反应器类型： 物理化学结合刻蚀常在反应离子刻蚀（RIE）和深反应离子刻蚀（DRIE）设备中进行。 控制参数： 综合控制反应气体种类与浓度、等离子体功率、离子能量和刻蚀时间，实现优化刻蚀。

3. 应用实例：

硅刻蚀： 在 MEMS 和集成电路制造中，物理化学结合刻蚀用于高精度硅刻蚀，形成高深宽比和垂直侧壁结构。 高选择性刻蚀： 在多层结构中，物理化学结合刻蚀用于选择性去除特定层，如氮化硅、氧化硅和金属层。

4. 优势与局限性：

优势： 兼具高选择性和高各向异性，适用于复杂图形和高深宽比结构；刻蚀速率高，工艺灵活。 局限性： 工艺复杂，控制参数多；设备要求高，初始投资大。

技术/特性 (Technology/Feature)

物理溅射 (Physical Sputtering)

等离子蚀刻 (Plasma Etching)

反应离子蚀刻 (Reactive Ion Etching, RIE)

各向异性 (Anisotropy)

高 (High)

低压下高 (High at low pressure), 高压下低 (Low at high pressure)

低压下高 (High at low pressure)

选择性 (Selectivity)

-

-

高能量束：非常好 (Very good with high beam energy) 中等能量束：良好 (Good with medium beam energy) 低能量束：较低 (Low with low beam energy)

压力条件 (Pressure Condition)

-

非常低 (Very low, <10 mTorr) 高, 高 (High, >100 mTorr) 低

低 (Low, <10 mTorr)

描述 (Description)

离子直接撞击材料表面 (Ion bombardment directly hitting the material surface)

化学反应和离子轰击 (Chemical reaction and ion bombardment)

结合化学活性气体和离子轰击 (Combination of chemically reactive gases and ion bombardment)

注：“低压下高，高压下低”这句话描述的是等离子蚀刻中各向异性和压力之间的关系。这里的“低压” 和“高压”是相对于标准大气压的压力条件，用来控制等离子体的密度和反应性。

低压下高： 在较低的压力下（例如小于10毫托尔，mTorr），等离子体中的气体分子较少，离子的平均自由路径较长，这意味着离子在与其它粒子碰撞之前可以移动更远的距离。这导致蚀刻过程更加各向异性，即蚀刻方向更垂直于材料表面，形成更直的侧壁。 高压下低： 在较高的压力下（例如大于100毫托尔），气体分子较多，离子的平均自由路径较短，离子在移动过程中会频繁与其他粒子碰撞。这增加了蚀刻过程中的随机性，导致各向异性降低，即蚀刻方向不仅垂直于材料表面，还会在侧向发生，形成较不陡峭的侧壁。

简而言之，压力较低时，等离子蚀刻的各向异性较高，蚀刻侧壁更直；压力较高时，各向异性降低，侧壁蚀刻效果较差。这种特性对于微电子制造中的精细图案制作非常重要，因为它可以影响器件的性能和可靠性。

总结：

干法刻蚀工艺通过物理、化学和物理化学结合的机制，实现了高精度、高各向异性和高选择性的刻蚀效果。不同类型的干法刻蚀工艺适用于各种应用场景，从集成电路到MEMS器件，再到显示面板的制造。了解和掌握这些刻蚀工艺的原理、设备和应用，对于实现高性能半导体器件制造至关重要。

4.2、湿法刻蚀工艺

湿法刻蚀（Wet Etching）是在液相环境中进行的刻蚀工艺，通过化学溶液的化学反应从材料表面去除物质。

原理与机制：

湿法刻蚀是一种重要的微纳加工技术，其原理和机制涉及到化学反应和物理溶解过程。理解这些过程对于优化和控制刻蚀过程至关重要。

4.2.1、化学反应过程

表面化学反应： 在湿法刻蚀中，刻蚀液中的化学物质与被刻蚀物表面发生化学反应。这些反应通常涉及溶液中的酸、碱或氧化剂与材料表面的化学键的断裂或形成。例如，硅(Si)在氢氟酸(HF)溶液中的刻蚀过程中，会生成可溶性的六氟硅酸根离子，这种反应使得硅材料的表面被逐渐溶解，从而实现刻蚀目标。 选择性刻蚀： 化学反应的选择性非常重要，不同材料对于刻蚀液中的化学物质具有不同的反应性。因此，湿法刻蚀的工艺优化通常需要选择性地控制这些反应，以确保只有目标材料被刻蚀而不影响其他部分。

4.2.2、物理溶解过程

溶剂侵蚀： 除了化学反应，刻蚀液也可以通过物理溶解过程作用于材料表面。这类过程通常涉及溶剂分子的扩散进入材料表面，并在分子层面上移除材料。这种过程特别适用于一些非晶态或非晶态部分的材料。 溶解速率与溶解度： 物理溶解过程的速率通常由刻蚀液中的溶解度和溶剂与材料之间的亲和力所决定。因此，溶解过程的控制可以通过调整刻蚀液的组成和温度来实现。

湿法刻蚀是一种常见的微纳加工技术，根据不同的化学反应机制和应用领域，可以将其分类为几种主要类型。

以下是湿法刻蚀的分类及其特点：

1. 化学刻蚀（Chemical Etching）

化学刻蚀是利用化学溶液中的化学反应来溶解材料表面的一种刻蚀方法。根据溶液中的化学成分和反应机制，化学刻蚀可进一步分为以下几类：

酸性刻蚀： 使用酸性溶液（如 HF、HCl 等）对碱性材料（如氧化硅）进行溶解刻蚀。例如，HF 溶液对硅的刻蚀作用是制造微机电系统（MEMS）和集成电路中的关键步骤之一。 碱性刻蚀： 使用碱性溶液（如 KOH、NaOH 等）对酸性材料（如硅）进行溶解刻蚀。碱性刻蚀常用于制造微机电系统中的加工步骤，例如制造微结构和微通道。 氧化刻蚀： 利用氧化性溶液（如浓硝酸、过氧化氢等）对金属材料进行氧化反应，然后溶解氧化物。氧化刻蚀广泛应用于金属的表面处理和电子器件制造中。

2. 电化学刻蚀（Electrochemical Etching）

电化学刻蚀利用电解质溶液和电流来控制材料表面的溶解反应。主要包括：

阳极氧化（Anodization）： 将金属材料作为阳极，在电解质溶液中形成氧化层。这种方法常用于铝的表面处理和装饰。 阳极溶解（Anodic Dissolution）： 通过电流作用，将阳极金属溶解到电解质溶液中。这种方法用于制造微结构和纳米材料。

优势与局限性

湿法刻蚀工艺作为一种重要的微纳加工技术，具有其独特的优势和局限性。

优势：

1. 工艺相对简单：

湿法刻蚀相比干法刻蚀通常工艺条件更为温和，不需要高真空和高温环境，操作相对简便。 不需要复杂的设备和特殊的处理环境，降低了成本和技术门槛。

2. 适用范围广：

湿法刻蚀可以处理多种材料，包括但不限于硅(Si)、玻璃、金属合金等。 对于不同的材料，可以选择不同的刻蚀液和条件，灵活性较高。

3. 刻蚀选择性和精度较高：

通过精确控制刻蚀液的成分、浓度、温度和时间等工艺参数，可以实现对微小结构的高精度加工。 可以在微米甚至纳米尺度上进行精确加工，满足微纳加工的高要求。

4. 生产效率较高：

虽然刻蚀速率一般较干法刻蚀慢，但湿法刻蚀能够在不需要极端条件下稳定运行，因此在实际生产中可以具备较高的稳定性和可靠性。

5. 成本相对较低：

比起干法刻蚀，湿法刻蚀的设备和材料成本通常较低，因为不需要高成本的真空设备和高温环境控制。

局限性：

1. 刻蚀速率相对较慢：

湿法刻蚀的刻蚀速率通常比干法刻蚀慢，这在大面积加工或高产量需求时可能成为制约因素。

2. 刻蚀液对设备和环境的腐蚀性：

某些刻蚀液如氢氟酸具有强腐蚀性，需要特殊的设备和环境管理，增加了安全性和操作复杂度。

3. 刻蚀选择性受限：

尽管可以通过调整刻蚀液的成分来改善刻蚀的选择性，但某些情况下可能无法实现完全理想的选择性，导致未预期的刻蚀效果或损伤。

4. 环境影响与处理：

需要处理和处置使用过的刻蚀液和废液，避免对环境造成负面影响，这需要符合严格的环保标准和法规。

5. 对特定结构和材料的适用性限制：

湿法刻蚀在处理某些特定结构或材料时可能存在困难，例如对于非晶态材料或复杂的多层结构的加工可能不如干法刻蚀灵活。

特点 (Feature)

优点 (Advantages)

缺点 (Disadvantages)

不使用大量化学品

- 减少化学品使用- 可能降低环境影响

- 某些气体可能具有腐蚀性

设备成本

- 减少化学品使用可能降低成本

- 设备昂贵

过程整洁

- 过程更干净、整洁

- 需要更高专业技能操作设备

精确度高

- 蚀刻方法更精确

- 副产品可能需要特殊处理

副产品处理

- 副产品容易处置

- 操作设备需要专业知识和技能

自动化

- 可以自动化过程，减少操作风险

- 操作设备需要专业知识和技能

综上所述，湿法刻蚀工艺以其简单、广泛的适用性和较高的加工精度在微纳加工领域具有重要地位，但在实际应用中需要根据具体要求和材料特性选择合适的加工方法和工艺参数，以最大化其优势并克服其局限性。

应用领域：

不同类型的湿法刻蚀适用于不同的应用领域：

半导体制造： 主要使用酸性和碱性刻蚀对硅进行微细加工，制造集成电路和传感器等器件。 微机电系统（MEMS）： 使用多种刻蚀方法制造微结构和微通道，例如利用碱性刻蚀创造微机械零件。 光子学和光电子器件： 包括使用氧化性溶液对金属进行刻蚀以制造光子晶体和微光栅等。

湿法刻蚀技术在微纳加工中具有广泛的应用和重要的地位，不断的技术创新和应用拓展将进一步推动其在高科技领域的发展和应用。

干法刻蚀与湿法刻蚀的比较：

1. 应用场景：

干法刻蚀适用于高精度、高各向异性和复杂图形的加工，适合集成电路、微机电系统等高端制造。 湿法刻蚀适用于大面积均匀刻蚀和高选择性刻蚀，适合成本敏感和中低端制造。

2. 设备与成本：

干法刻蚀设备复杂，成本高，适合大规模工业生产。 湿法刻蚀设备简单，成本低，适合中小规模生产和实验室研究。

3. 工艺控制：

干法刻蚀参数复杂，控制难度大，但精度高。 湿法刻蚀工艺简单，控制容易，但精度和各向异性较低。

特征 (Feature)

湿法蚀刻 (Wet Etching)

干法蚀刻 (Dry Etching)

方法 (Method)

化学蚀刻剂 (Chemical etchant)

等离子体/反应离子 (Plasma/reactive ion)

条件 (Conditions)

大气环境/化学浴 (Atmosphere, Bath)

真空室 (Vacuum chamber)

优点 (Advantages)

- 成本低 (Low cost)- 深层蚀刻范围 (Deep etching range)- 易于实现小于100纳米特征 (Easy implementation of <100 nm features)

- 蚀刻速率高 (Higher etch rates)- 易于自动化 (Easy to automate)

缺点 (Disadvantages)

- 无法定义小于1微米尺寸 (Cannot define features <1 μm)- 使用有毒和腐蚀性气体 (Use of toxic and corrosive gases)- 晶圆污染问题 (Wafer contamination issues)- 难以维持恒定蚀刻速率 (Difficult to maintain a constant etch rate)

- 成本高且难以实施 (High cost and hard to implement)- 选择性较差 (Poor selectivity)

方向性 (Directionality)

各向同性（晶体材料除外） (Isotropic, except for crystalline materials)

各向异性 (Anisotropic)

蚀刻离子技术 (Etching Ion Technique)

-

反应离子蚀刻 (Reactive Ion Etching, RIE)

总的来说，干法刻蚀和湿法刻蚀各有优缺点，在半导体制造过程中，常常需要根据具体的应用需求和工艺要求选择合适的刻蚀方法。通过综合利用这两种刻蚀技术，可以实现高性能、高可靠性的半导体器件制造。

#05

刻蚀工艺的主要应用领域

5.1、集成电路

刻蚀工艺在集成电路制造中的关键角色

集成电路（IC）的制造过程是高度复杂和精细的，刻蚀工艺在其中起着至关重要的作用。

以下是刻蚀工艺在集成电路制造中的具体应用和细节：

1. 光刻图形转移：

工艺步骤： 在光刻过程中，刻蚀工艺用于将光刻胶上的图形转移到基材上。这是通过选择性去除光刻胶未覆盖的区域来实现的。 应用实例： 在制造MOSFET（金属氧化物半导体场效应晶体管）时，刻蚀用于形成源极和漏极的区域，以及栅极的结构。

2. 多层结构的形成：

工艺步骤： 刻蚀工艺用于在多层结构中逐层去除材料，以形成互连和通孔。 应用实例： 在铜互连技术中，通过化学机械抛光（CMP）和刻蚀工艺相结合，去除多余的铜和介电材料，形成精细的互连结构。

3. 高深宽比结构的刻蚀：

工艺步骤： 使用深反应离子刻蚀（DRIE）技术，可以在硅片上形成高深宽比的结构，这对于微观电路和器件的高密度集成至关重要。 应用实例： DRIE技术用于制造三维 NAND 闪存和 FinFET（鳍式场效应晶体管），这些器件具有高性能和高密度的优势。

4. 材料选择性刻蚀：

工艺步骤： 在集成电路制造中，刻蚀工艺需要高度选择性，以确保只去除目标材料而不损伤其他层。 应用实例： 在制造先进节点的逻辑器件时，刻蚀工艺用于选择性去除硅氧化物、氮化硅和其他介电材料，以形成精确的结构。

刻蚀工艺在集成电路制造中的技术要求：

高精度与高分辨率： 刻蚀工艺需要具有极高的精度和分辨率，以满足微缩技术要求。 高各向异性： 实现垂直侧壁结构是许多集成电路制造工艺的关键需求，干法刻蚀尤其适用于此类应用。 高选择性： 刻蚀工艺必须能够精确地选择性去除特定材料，而不会影响邻近的材料和结构。

5.2、MEMS器件

刻蚀工艺在MEMS器件制作中的重要性

微机电系统（MEMS）器件是一种结合了微机械和微电子的复杂系统，刻蚀工艺在其制作过程中具有不可替代的重要作用。

以下是MEMS器件制作中刻蚀工艺的具体应用和细节：

1. 微机械结构的形成：

工艺步骤： 利用刻蚀工艺形成微机械结构，包括悬臂梁、齿轮、传感器等。 应用实例： 在加速度计和陀螺仪中，刻蚀工艺用于制作精确的微机械结构，以检测运动和旋转。

2. 高深宽比结构的制造：

工艺步骤： 使用深反应离子刻蚀（DRIE）技术，可以在硅片上形成高深宽比的微机械结构，这对于MEMS器件的性能至关重要。 应用实例： DRIE技术用于制造微流体通道和微泵，这些结构在生物医学传感器和实验室芯片中广泛应用。

3. 多材料选择性刻蚀：

工艺步骤： 在MEMS器件中，经常使用多种材料，刻蚀工艺需要具有选择性，以保护关键结构。 应用实例： 在压力传感器中，通过选择性刻蚀保护膜和基材，以确保器件的灵敏度和可靠性。

4. 表面微加工与体微加工：

工艺步骤： 表面微加工使用薄膜和刻蚀技术在基材表面制作微结构，体微加工则通过刻蚀在基材内部形成深刻的结构。 应用实例： 表面微加工用于制作微镜和微致动器，体微加工用于制作微传感器和微执行器。

刻蚀工艺在MEMS器件制作中的技术要求：

高深宽比与高各向异性： 许多MEMS结构需要高深宽比和高各向异性，以实现精确的微机械功能。 材料选择性与保护： 刻蚀工艺必须具有高选择性，以保护关键材料和结构，同时实现所需的功能。 复杂结构与多材料兼容性： MEMS器件通常具有复杂的多层结构，刻蚀工艺需要兼容多种材料和工艺步骤。

5.3、显示面板制造

刻蚀工艺在显示面板制造中的应用

显示面板（如 LCD 和 OLED ）的制造过程中，刻蚀工艺用于形成各种微细图形和结构，以实现高分辨率和高性能的显示效果。

以下是刻蚀工艺在显示面板制造中的具体应用和细节：

1. 像素电极的形成：

工艺步骤： 使用刻蚀工艺去除特定区域的材料，以形成像素电极和驱动电路。 应用实例： 在LCD面板中，刻蚀工艺用于制作透明的ITO（氧化铟锡）电极，以确保良好的电导率和透光性。

2. 有机层与无机层的选择性刻蚀：

工艺步骤： 在OLED面板中，刻蚀工艺用于选择性去除有机材料和无机材料，以形成多层结构。 应用实例： 在OLED显示器中，刻蚀工艺用于形成发光层和电子传输层，以实现高效率和长寿命的发光性能。

3. 薄膜晶体管（TFT）的制造：

工艺步骤： 刻蚀工艺用于制作薄膜晶体管（TFT）阵列，这是显示面板驱动的核心组件。 应用实例： 在 AMOLED 面板中，通过刻蚀工艺制作高性能的多晶硅TFT，以实现高分辨率和快速响应的显示效果。

4. 绝缘层和保护层的刻蚀：

工艺步骤： 刻蚀工艺用于去除绝缘层和保护层，以形成电气隔离和防护结构。 应用实例： 在显示面板制造中，通过刻蚀工艺去除多余的绝缘材料，以确保各个电极和导线之间的电气隔离。

刻蚀工艺在显示面板制造中的技术要求:

高精度与高分辨率： 显示面板需要高精度和高分辨率的微细图形，以确保清晰的显示效果。 材料兼容性与高选择性： 刻蚀工艺需要兼容多种材料（如 ITO、有机材料、无机材料）并具有高选择性，以保护敏感层。 大面积均匀刻蚀： 显示面板的尺寸较大，刻蚀工艺需要保证大面积的均匀性和一致性，以提高产品良率和性能。

总结:

刻蚀工艺在集成电路制造、MEMS 器件制作和显示面板制造中都有着广泛而重要的应用。每个领域对刻蚀工艺的要求不同，但共同点是对高精度、高选择性和高各向异性的需求。通过不断的技术创新和优化，刻蚀工艺将继续推动半导体和电子产品的发展和进步。

#06

刻蚀工艺的评价指标

刻蚀工艺的评价指标涵盖了多个方面，包括刻蚀速率、刻蚀选择性、刻蚀深度控制、表面质量、侧壁垂直度、刻蚀均匀性、环境友好性与安全性以及成本效益等。以下将详细介绍每个指标及其在刻蚀工艺中的重要性，尽量提供相关数据和实际应用情况。

1. 刻蚀速率（Etching Rate）

刻蚀速率是指单位时间内材料被刻蚀的深度，通常以纳米/分钟（nm/min）或埃/分钟（Å/min）为单位。例如，常见的硅（Si）在氧化氢（H2O2）或氟化氢（HF）溶液中的刻蚀速率可以达到几百纳米/分钟的水平，具体数值取决于刻蚀液的浓度和温度等因素。刻蚀速率直接影响到刻蚀工艺的加工效率和生产能力。高刻蚀速率可以快速加工大面积的材料，适用于大规模生产需求。

2. 刻蚀选择性（Etch Selectivity）

刻蚀选择性指不同材料在相同刻蚀条件下的刻蚀速率比。例如，对于硅（Si）和二氧化硅（SiO2）的刻蚀选择性，通常要求在20:1以上，即硅的刻蚀速率是二氧化硅的20倍以上。良好的刻蚀选择性意味着可以选择性地刻蚀目标材料而不影响其他材料，尤其在复杂结构或多层材料的加工中至关重要，特别是在集成电路制造中。例如，在晶圆制造过程中，当需要刻蚀硅层而保护下面的二氧化硅层时，高达20:1的刻蚀选择性可以确保只有硅层被有效刻蚀，而二氧化硅层几乎不受影响。

3. 刻蚀深度控制（Etch Depth Control）

刻蚀深度控制是指实际刻蚀深度与设定深度之间的偏差。优秀的刻蚀深度控制能够确保产品的尺寸精度和形状的一致性。在半导体制造中，要求刻蚀深度控制在几十纳米的范围内，如实际刻蚀深度与目标深度的偏差在5%以内。

4. 表面质量（Surface Quality）

表面质量直接影响到材料的最终功能和性能。评估表面质量时通常考虑表面粗糙度、均匀性、平整度等因素。表面粗糙度的评价可以通过原子力显微镜（AFM）等设备进行，典型的表面粗糙度要求在亚纳米级别（如0.5 nm RMS）。

5. 侧壁垂直度（Sidewall Verticality）

侧壁垂直度指的是刻蚀加工形成的侧壁与基底的垂直度。在微纳米制造中，尤其是对于半导体器件的制造，侧壁的垂直度直接影响器件的性能和可靠性。对于硅微结构的侧壁，优秀的侧壁垂直度可以达到接近90度，即侧壁与基底的夹角非常小。

6. 刻蚀均匀性（Etch Uniformity）

刻蚀均匀性描述了在整个加工表面内刻蚀深度的均匀程度。均匀的刻蚀可以确保产品各部分的性能和功能一致性。典型的刻蚀均匀性要求可以在单个晶圆或大面积基板上，实现刻蚀深度的变化在数百纳米范围内保持一致。

7. 环境友好性与安全性（Environmental Friendliness and Safety）

评估刻蚀工艺的环境友好性包括刻蚀液的成分、排放物处理和能耗等方面。安全性评估涉及到工艺过程中的化学品使用、废弃物处理和操作人员的安全问题。环境友好的刻蚀液通常要求低挥发性有机化合物（VOC）含量低于0.1%等级，废液处理要求符合环保标准。

8. 成本效益（Cost-effectiveness）

刻蚀工艺的成本效益评估包括设备投资成本、运行成本（如能耗和耗材成本）、维护成本和生产效率等因素的综合考量。成本效益高的工艺通常能够降低产品制造成本并提升市场竞争力。比较不同刻蚀工艺的总成本，包括设备购买和运行成本、产品质量损失的风险成本等。

总结：

刻蚀工艺评价指标综合考虑了工艺效率、加工精度、材料选择性、表面质量和环境安全等多个方面。这些指标在不同的应用需求和行业背景下具有不同的重要性和优先级。通过综合考虑这些指标，企业和研究机构可以选择适合的刻蚀工艺和设备，以实现最佳的加工效果和成本效益。

#07

刻蚀设备市场竞争格局与发展前景

刻蚀设备市场是微纳加工领域中的关键市场之一，其主要应用于半导体制造、光电子器件、生物医药等高技术领域。目前，全球刻蚀设备市场规模较大，主要由几家主要企业主导，市场格局相对稳定。

7.1、市场主要玩家

全球市场概况:

全球刻蚀设备市场规模已经达到数十亿美元，并且由几家主要企业主导。这些企业在半导体制造和光电子行业中拥有重要地位，技术实力雄厚，产品涵盖广泛。

以下是主要的市场主导者：

1. Lam Research

总部地点： 美国 主要产品和技术： 包括电子束、离子束和浸没式刻蚀设备，以及DRIE技术。 市场地位： 在刻蚀设备领域具有全球领导地位，尤其在高性能半导体制造中表现突出。

2. Applied Materials

总部地点： 美国 主要产品和技术： 化学机械抛光和刻蚀设备，以及多功能平台技术。 市场地位： 提供多样化的半导体制造设备，技术综合性强，在刻蚀和抛光领域有显著影响力。

3. 村田机械 (Murata Machinery)

总部地点： 日本 主要产品和技术： 离子束刻蚀设备，以及高精度加工技术。 市场地位： 专注于高精度刻蚀设备，为电子器件和半导体行业提供关键工艺解决方案。

4. ASML

总部地点： 荷兰 主要产品和技术： 光刻和光刻机，极紫外光刻技术。 市场地位： 在光刻领域拥有全球领先地位，为先进芯片制造提供关键技术支持。

7.2、中国市场概况

中国刻蚀设备市场随着国内电子信息产业的快速发展而逐步扩展。

以下是一些主要的国内刻蚀设备制造商：

1. 中微半导体

总部地点： 中国 主要产品和技术： 包括离子束刻蚀设备，以及DRIE和MEMS技术。 市场地位： 在国内半导体制造设备领域具有较大市场份额，技术水平在国内领先。

2. 北方华创

总部地点： 中国 主要产品和技术： 主要应用于平面显示器刻蚀设备，以及高速刻蚀技术。 市场地位： 在显示器件刻蚀领域有一定市场份额，产品在国内市场广泛应用。

3. 昊量

总部地点： 中国 主要产品和技术： 包括半导体器件刻蚀设备，DRIE和深度刻蚀技术。 市场地位： 在半导体器件刻蚀设备领域有一定市场份额，技术在国内逐步成熟。

4. 京东方科技

总部地点： 中国 主要产品和技术： 主要应用于显示器件刻蚀设备，平面显示器件刻蚀技术。 市场地位： 在显示器件制造领域具有一定竞争力，产品技术不断进步。

公司名称

总部地点

主要产品和技术

刻蚀速率 (nm/min)

刻蚀选择性

刻蚀深度控制 (nm)

表面质量 (表面粗糙度，nm RMS)

成本效益

全球市场

Lam Research

美国

电子束、离子束和浸没式刻蚀设备；DRIE技术

500 - 1000

> 20:1

± 5

< 0.5

高

Applied Materials

美国

化学机械抛光和刻蚀设备；多功能平台技术

200 - 800

> 15:1

± 10

< 1.0

中高

村田机械 (Murata Machinery)

日本

离子束刻蚀设备；高精度加工技术

400 - 900

> 20:1

± 5

< 0.3

高

ASML

荷兰

光刻和光刻机；极紫外光刻技术

-

-

-

-

高

中国市场

中微半导体

中国

离子束刻蚀设备；DRIE和MEMS技术

300 - 600

15:1 - 20:1

± 8

< 1.0

中高

北方华创

中国

平面显示器刻蚀设备；高速刻蚀技术

100 - 400

10:1 - 15:1

± 15

< 2.0

中

昊量

中国

半导体器件刻蚀设备；DRIE和深度刻蚀技术

200 - 500

12:1 - 18:1

± 10

< 1.5

中高

京东方科技

中国

显示器件刻蚀设备；平面显示器件刻蚀技术

150 - 350

8:1 - 12:1

± 12

< 2.5

中

说明：

刻蚀速率： 单位为纳米/分钟（nm/min），表示在典型操作条件下，材料每分钟被刻蚀的深度。数据范围反映了不同公司在刻蚀速率方面的表现。 刻蚀选择性： 表示不同材料之间的刻蚀速率比例，如20:1表示一种材料的刻蚀速率是另一种材料的20倍。数据范围反映了刻蚀选择性的高低。 刻蚀深度控制： 表示实际刻蚀深度与目标深度之间的偏差范围。以纳米（nm）为单位。 表面质量： 通常以表面粗糙度的根均方（RMS）值来描述，单位为纳米。较低的数值表示表面质量较好。 成本效益： 主观评价，反映了每家公司在提供产品时成本和性能的平衡情况。

7.3、市场容量

根据市场研究报告，全球刻蚀设备市场规模在数十亿美元以上，随着半导体技术的进步和新兴应用领域的发展，市场需求不断扩大。 中国作为全球电子信息产业的重要组成部分，其刻蚀设备市场随着国内技术进步和需求增长，市场容量也在逐步扩展。

7.4、发展趋势与未来空间

1. 技术创新驱动：

刻蚀设备市场的未来发展将受益于技术创新的推动，如深度反应离子刻蚀（DRIE）、纳米级刻蚀技术等的应用将提升设备的加工精度和效率。 智能化制造和数据驱动的趋势将促进设备性能的提升，包括自动化控制、实时监测和预测维护等。

2. 市场需求增长：

半导体行业的持续发展是刻蚀设备市场的主要推动力之一，随着5G、人工智能、物联网等技术的普及和应用，对高性能芯片的需求将进一步增长。 光电子器件、生物医药和新能源等新兴行业的兴起也将带动刻蚀设备市场的扩展，特别是对于微纳米级结构加工需求的增加。

3. 国际竞争与国内发展：

全球市场竞争激烈，国际知名企业在技术研发和市场拓展方面具有较大优势，但中国企业通过技术创新和国际合作，逐步提升产品技术水平和市场份额。 国内企业在本土市场具有一定优势，受到政府支持和市场需求的驱动，加速了技术升级和产品创新。

结论：

刻蚀设备市场作为微纳加工领域的关键组成部分，面临着技术创新、市场需求增长和国际竞争等多重挑战和机遇。未来，随着全球技术进步和应用领域的扩展，刻蚀设备市场有望继续保持稳定增长，尤其是在智能制造和绿色技术方面的发展将为市场注入新的发展动力。国内企业应加强技术研发和国际合作，提升竞争力，积极参与全球市场竞争，共同推动刻蚀设备技术的进步与应用。

#08

未来展望

刻蚀工艺作为微纳加工领域的关键技术之一，其未来发展趋势主要受到技术创新、市场需求变化和环境友好型要求等多方面因素的影响。

以下是刻蚀工艺未来发展的几个主要趋势：

8.1、技术创新驱动

刻蚀工艺将继续受益于技术创新的推动，包括但不限于：

8.1.1、深度反应离子刻蚀（DRIE）技术的进步：

DRIE技术已经成为制造微机电系统（MEMS）和生物芯片等应用中的重要工艺。未来的发展将集中在提高刻蚀速率、精度和控制深度方面，以满足更复杂的器件需求。在微纳加工领域，随着技术的不断发展，深度反应离子刻蚀（Deep Reactive Ion Etching，简称DRIE）和高度各向异性刻蚀技术成为了重要的先进刻蚀技术之一，它们在实现微结构和纳米结构加工方面具有显著的优势和应用前景。

深度反应离子刻蚀（DRIE）

深度反应离子刻蚀技术是一种高效的三维微纳加工技术，主要用于制造微机电系统（MEMS）、传感器、生物芯片等需要复杂结构和高纵深度的微结构器件。

1. 原理与工艺特点：

DRIE 利用高能离子轰击材料表面，并结合化学气相反应，实现深入材料的高纵深度刻蚀。 与传统的等离子体刻蚀技术相比，DRIE 具有更高的刻蚀速率和更好的垂直侧壁控制能力。

2. 优势与特点：

高纵深度 ：能够实现几十到数百微米的深度刻蚀，甚至更深。 垂直侧壁： 能够实现几乎完全垂直的侧壁，适合制造高度精确的微结构和纳米结构。 高度复杂结构： 可以制造复杂的三维结构，如悬臂梁、微通道等。

3. 应用领域：

MEMS器件制造，如微镜、微阀门等。 生物医学器件，如微流体芯片、生物传感器等。 光子学器件，如光波导、光栅等。

8.1.2、纳米级刻蚀技术：

随着纳米科技的进展，对于纳米结构的制造需求增加。纳米级刻蚀技术的发展将注重于更高的分辨率、更好的表面质量以及对材料的高度选择性刻蚀能力。

多功能刻蚀平台的集成： 为了提高设备的灵活性和效率，未来的刻蚀设备可能会集成更多功能，例如多种气体处理、在线监测和自动化控制系统，以应对不同的加工需求。

8.2、 智能制造与数据驱动

智能化制造趋势： 刻蚀工艺设备将向智能化方向发展，包括实时监测和数据分析功能，以优化加工过程并实现自动化控制。预测性维护系统的应用也将减少设备停机时间和维护成本。 人工智能的应用： 利用人工智能和机器学习算法分析大量的加工数据，优化刻蚀参数和加工策略，进一步提高刻蚀的精度和稳定性。

8.3、环境友好型和能效优化

绿色刻蚀技术的发展： 随着环保意识的增强，刻蚀工艺将朝向更环境友好的方向发展。这包括减少化学品的使用、提高能源利用效率以及废物处理的技术创新。 低能耗技术的推广： 设备制造商将致力于开发低能耗的刻蚀设备，以降低加工过程中的能源消耗，并减少对环境的影响。

8.4、应用领域的扩展

新兴市场需求的增长： 刻蚀工艺不仅在半导体制造中应用广泛，还在光电子器件、生物医药、新能源等领域中有重要应用。随着这些新兴市场的发展，对于更复杂、更高精度的刻蚀工艺的需求将持续增长。 特定应用领域的定制化需求： 随着各种应用的不断涌现，如量子计算、传感器技术等，对刻蚀工艺的定制化需求也将增加，推动刻蚀技术在特定领域的深入应用和优化。

综上所述，刻蚀工艺未来的发展将在技术创新、智能制造、环境友好型和应用扩展等多个方面展现出多样化的趋势。随着全球技术的进步和市场需求的不断变化，刻蚀设备制造商需要不断地适应和引领这些变化，以确保在竞争激烈的市场中保持竞争优势和市场份额的稳固增长。

参 考：

1.反应离子刻蚀(RIE)原理-深圳纳恩科技有限公司 (mjsds.com)

2.Etching, Process to Complete Semiconductor Patterning – 1 - SK hynix Newsroom

3.Dry Etching vs. Wet Etching: Difference, Process, Applications - WayKen (waykenrm.com)

4.半导体图案化工艺流程之刻蚀-电子工程专辑 (eet-china.com)

5.不同类型的刻蚀反应 - 行业研究数据 - 小牛行研 (hangyan.co)

6.刻蚀设备行业分析报告_产业规划 - 前瞻产业研究院 (qianzhan.com)

7.反应离子刻蚀(RIE)原理-深圳纳恩科技有限公司 (mjsds.com)

8.半导体图案化工艺流程之刻蚀-电子工程专辑 (eet-china.com)

9.刻蚀设备行业分析报告_产业规划 - 前瞻产业研究院 (qianzhan.com)

10.浅谈MEMS工艺技术之刻蚀_浅谈MEMS工艺技术之刻蚀 (topmems.com)

11.反应离子刻蚀(RIE)原理-深圳纳恩科技有限公司 (mjsds.com)

12.Physical Sputtering and Ion Milling (mks.com)

13.In-Depth Industry Outlook: Semiconductor Etch Equipment Market Size, Forecast (verifiedmarketresearch.com)

14.Etch Overview (mks.com)

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蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wetetching)和干蚀刻(dryetching)两类。最早可用来制造铜版、锌...

蚀刻框架是什么?

蚀刻框架作为一种半导体集成电路的芯片载体,是一种借助于键合材料(金丝、铝丝、铜丝)实现芯片内部电路引出端与外引线的电气连接,形成电气回路的关键结构件,它...

湿法刻蚀详细工艺原理?

湿法刻蚀是一种通过溶液腐蚀掉材料表面来加工的方法,适用于大多数金属、半导体和陶瓷材料。湿法刻蚀的原理基于两个原理:化学反应和质量传递。化学反应:刻蚀...

蚀刻机是干什么用的?

通常所指蚀刻也称光化学蚀刻(photochemicaletching),指通过曝光制版、显影后,将要蚀刻区域的保护摸去处,在蚀刻时接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用,形成...

还有谁知道!什么是金属蚀刻工艺?

[回答]这个课题太大!因为牵涉到半导体材料的泛范围太广了!非常简单地说:以半导体材料及派生材料为主体的各种工艺研发和生产都称作半导体工艺!半导体:顾名...

蚀刻片是什么?

蚀刻片是一种用于制作微细结构的工具。它通常由玻璃或石英制成,表面涂有光敏材料。在制作过程中,将光敏材料暴露于紫外线下,然后通过化学蚀刻来去除未暴露的部...

芯片湿法工艺是什么意思?

是一种刻蚀方法,主要在较为平整的膜面上刻出绒面,从而增加光程,减少光的反射,刻蚀可用稀释的盐酸等湿法刻蚀是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的技术。简...

干蚀刻工艺带走的是光阻吗?

干蚀刻工艺带走的是光阻,利用电浆(plasma)来进行半导体薄膜材料的蚀刻加工。其中电浆必须在真空度约10至0.001Torr的环境下,才有可能被激发出来干蚀刻工艺带...

芯片刻蚀机的研发到底有多难?

芯片不能小瞧,它是电子产品的核心,但制造芯片的关键设备之一便是刻蚀机,它也是芯片成功制造出来的关键。所以它的研发肯定是有一定难度的,不过我们已经在刻...