长鑫存储申请半导体专利,可提高第三沟槽的对位精度、简化制造工艺、降低制造成本
金融界2024年1月5日消息,据国家知识产权局公告,长鑫存储技术有限公司申请一项名为“半导体结构及其形成方法、存储器“,公开号CN117355130A,申请日期为2022年6月。
专利摘要显示,本公开是关于半导体技术领域,涉及一种半导体结构及其形成方法、存储器,本公开的形成方法包括:提供基底,基底包括衬底和绝缘材料层,衬底包括多个沿第一方向间隔分布的第一沟槽,绝缘材料层填充各第一沟槽;对基底进行蚀刻,以形成多个沿第二方向间隔分布的第二沟槽,第二方向与第一方向相交;去除位于第二沟槽下方的衬底的部分材料,以在第二沟槽的下方形成第三沟槽,第三沟槽贯通各第二沟槽;在第三沟槽内填充导电材料,以形成位线结构;在第二沟槽内形成字线结构,字线结构与位线结构绝缘设置。本公开的形成方法可提高第三沟槽的对位精度、简化制造工艺、降低制造成本。
本文源自金融界
台积电取得半导体结构专利,实现多个沟槽被液体填充的半导体结构
金融界2024年2月22日消息,据国家知识产权局公告,台湾积体电路制造股份有限公司取得一项名为“半导体结构“的专利,授权公告号CN220510021U,申请日期为2023年6月。
专利摘要显示,一种半导体结构,根据本公开的半导体结构包括第一裸晶以及第二裸晶,第一裸晶具有前表面以及后表面,第二裸晶接合到第一裸晶的后表面。第一裸晶包括相邻于后表面的多个沟槽,且多个沟槽被液体填充。
本文源自金融界
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